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溫州康鼎凈化工程有限公司
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劉經(jīng)理 先生 0577-88906188 2233863542@qq.com康鼎凈化無塵車間工程 |
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| 無塵車間的環(huán)境控制與檢測 在集成電路的制造過程中，被加工的是單一的硅片，從原材料到產(chǎn)品需要進行幾百道物 理、化學(xué)加工工序，其間如果遭受污染，就會引起產(chǎn)品大量報廢，例如64MDRAM，在制造過程中，空氣中塵埃粒徑應(yīng)被控制在0.035ym以下；環(huán)境微振動值應(yīng)控制在4.5×10—3 mm/s以下，在光刻工序，很小的微振動會引起對位不準，影響產(chǎn)品的成品率 為了滿足集成電路日益精細的加工要求，各國在微污染控制技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)投入了可觀的人 力、物力進行系統(tǒng)研究，取得了大量科技成果，涌現(xiàn)了一批高科技產(chǎn)品，諸如超高效過濾 器（過濾效率達99.999 99%）的問世及IS0 3級(O.lpm)無塵車間的建立；超純水及超純 氣體的應(yīng)用；隧道式無塵車間及微環(huán)境系統(tǒng)無塵車間的出現(xiàn)和使用，大大降低了污染。 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展、進步，防微振技術(shù)必須不斷地探索、提高和深化，這將是歷史的必然。而解決好防微振技術(shù)。 防微振的重要性體現(xiàn)在各行各業(yè)：例如感光化學(xué)工業(yè)，彩色膠片乳劑層14個涂層總厚度僅19pLm，在涂布過程中由于微小的振動將使乳劑涂層厚薄不勻，在膠片上產(chǎn)生橫紋；在慣導(dǎo)技術(shù)方面，為了提高導(dǎo)彈的打擊精度，準確命中目標，需要對陀螺儀、加速度計及組合制導(dǎo)（衛(wèi)星、導(dǎo)航、地形匹配及景物匹配）系統(tǒng)的精度提出高的要求，這種高精度慣導(dǎo)系統(tǒng)的調(diào)試和檢測，必須在極為寧靜的環(huán)境中進行；對于微電子工業(yè)，線寬0. 1y.m (4G DRAM)產(chǎn)品已進入市場，硅片加工中的光刻工序?qū)ξ⒄駝拥目刂埔髽O為嚴格；其他 如精密機械加工、光學(xué)器件檢測、激光實驗、超薄金屬軋制以及理化風(fēng)淋室系列實驗等都需要對微振動進行控制。 在防微振 領(lǐng)域，從廠房結(jié)構(gòu)形式、動力設(shè)備布置及隔振措施到精密設(shè)備防微振措施等方面獨特的建 樹，為集成電路生產(chǎn)提供了一個優(yōu)良的環(huán)境。可以認為風(fēng)淋傳遞窗，當今微污染控制領(lǐng)域諸多科技成果 的出現(xiàn)無不與集成電路生產(chǎn)的飛速發(fā)展有關(guān)。 集成電路工廠的前工序（硅片加工）對微環(huán)境控制最為嚴格。在防微振方面，要求工廠 ， 建造在遠離鐵路、機場、公路干線且綠化較好的地區(qū)，廠區(qū)總平面布置要求單建的動力站房 與潔凈廠房之間留有足夠的距離。 我國對防微振的研究及工程實踐始于20世紀60年代初期，經(jīng)歷了幾代人的努力，不僅 建立和完善了防微振理論，開發(fā)了防微振用系列化隔振產(chǎn)品，還進行了大量的工程實踐，成功地解決了彩色膠片涂布、慣導(dǎo)系統(tǒng)測試、集成電路光刻工序、空間光學(xué)系統(tǒng)檢測、激光實驗、超薄金屬軋制、文物保護等方面的防微振問題，為我國現(xiàn)代化科技的發(fā)展做出了貢獻。 溫州康鼎凈化工程有限公司是專業(yè)從事無菌室（實驗室、手術(shù)室）、潔凈室（無塵車間等項目）裝修以及高品質(zhì)凈化設(shè)備生產(chǎn)銷售。公司追尋"信任，創(chuàng)新，完美，效率"的經(jīng)營理念、立足長江三角洲，用心為客戶提供"最高的性價比",工程質(zhì)量超越國際一流標準。 聯(lián)系電話： 0577-88906188/15557555596 網(wǎng)站地址： www.wzkd.net 公司地址： 溫州市鹿城區(qū)炬光園炬新路21號 |
